BEST-300C 雙電測(cè)電四探針電阻率/方阻測(cè)試儀
1. 產(chǎn)品概述
BEST-300C是一款基于四探針?lè)?zwnj;和四端子（開(kāi)爾文）法的高精度測(cè)試儀，專(zhuān)門(mén)用于測(cè)量半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜、金屬涂層、塊狀導(dǎo)體的方塊電阻（Rsq）、體電阻率（ρ）、電導(dǎo)率（σ）及直流電阻（R）。該儀器是材料研究、生產(chǎn)分選和質(zhì)量控制的核心工具。
2. 核心技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
超高精度與分辨率：
電阻基本精度：±0.01% rdg. ±0.001% f.s.
方阻/電阻率基本精度：±2% rdg. ±0.01% f.s.
高分辨率：0.1μΩ
雙電測(cè)與OVC技術(shù)：采用四端子法消除引線電阻影響；OVC（熱電勢(shì)補(bǔ)償）功能可自動(dòng)消除因溫差產(chǎn)生的熱電勢(shì)，確保微電阻測(cè)量的準(zhǔn)確性。
智能化與自動(dòng)化：
全自動(dòng)測(cè)量：輸入探針間距、樣品厚度和模式（無(wú)限大/無(wú)限薄），儀器自動(dòng)計(jì)算并顯示電阻率、方阻和電導(dǎo)率。
自動(dòng)分選：高達(dá)10檔（BIN0-BIN9）的多檔分選功能，結(jié)合面板LED燈、蜂鳴器及EXT I/O接口信號(hào)輸出，完美適配自動(dòng)化產(chǎn)線。
溫度補(bǔ)償/換算：連接測(cè)溫探頭可進(jìn)行溫度補(bǔ)償（TC）修正溫漂，或進(jìn)行溫度換算（ΔT）估算材料溫升。
測(cè)試速度快：快測(cè)試周期可達(dá)2.2ms（快速模式）。
豐富接口：標(biāo)配RS-232C/485、LAN（以太網(wǎng)）、USB Host（U盤(pán)）、EXT I/O接口，便于數(shù)據(jù)管理和系統(tǒng)集成。
3. 主要技術(shù)參數(shù)摘要
測(cè)量參數(shù)：電阻(R)、方塊電阻(Rsq)、電阻率(ρ)、電導(dǎo)率(σ)
電阻測(cè)量范圍：20mΩ ~ 10MΩ （10檔手動(dòng)量程）
方阻/電阻率范圍：理論覆蓋 10⁻⁷ Ω/□ ~ 10⁺⁸ Ω/□
測(cè)試速度：快速(2.2ms)、中速、慢速1、慢速2 可選
顯示：4.3英寸彩色TFT觸摸屏，支持中/英文界面
電源：AC 100V ~ 240V，50/60Hz
外形尺寸：約325(L)×215(W)×96(H) mm，重約2kg
4. 典型應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)：硅片、晶圓的電阻率均勻性測(cè)試與分選。
新材料研發(fā)：ITO/FTO透明導(dǎo)電膜、石墨烯、納米導(dǎo)電涂層的方阻測(cè)量。
新能源領(lǐng)域：鋰電池正負(fù)極涂層的電導(dǎo)率均勻性檢測(cè)。
金屬材料：線材、合金的電阻率與電導(dǎo)率精確評(píng)估。
電子元件：功率器件內(nèi)部焊接電阻、繼電器接點(diǎn)電阻的微歐級(jí)檢測(cè)
