電子級(jí)氫氣的純度分級(jí)的核心依據(jù)是國(guó)家GB/T 3634.2-2011標(biāo)準(zhǔn)，結(jié)合電子制造不同場(chǎng)景需求，形成了清晰的分級(jí)體系，不同純度對(duì)應(yīng)不同的應(yīng)用領(lǐng)域。其中，純氫純度≥99.99%，雜質(zhì)總量≤0.01%，主要用于電子工業(yè)的基礎(chǔ)輔助環(huán)節(jié)，如普通電子元件的清洗預(yù)處理；高純氫純度≥99.999%，雜質(zhì)≤0.001%，是電子工業(yè)的主流產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造、光伏硅片加工等核心工藝；超純氫純度≥99.9999%，雜質(zhì)≤0.0001%，專供高端場(chǎng)景，如28nm及以下先進(jìn)制程芯片、Mini/Micro LED制造。此外，隨著電子技術(shù)迭代，高端芯片、量子計(jì)算等領(lǐng)域已對(duì)氫氣純度提出8N（99.999999%）、9N（99.9999999%）的要求，純度每提升一個(gè)等級(jí)，對(duì)制備、提純技術(shù)的要求都將實(shí)現(xiàn)質(zhì)的跨越。

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