電子級(jí)氫氣的制備技術(shù)主要分為三大類(lèi)，分別是化石燃料重整法、電解水制氫法和其他特種制氫法，不同方法在成本、純度、環(huán)保性上各有優(yōu)勢(shì)，適配不同的生產(chǎn)需求和場(chǎng)景。其中，化石燃料重整法是目前主流的規(guī)模化制備方法，包括天然氣重整和甲醇重整，天然氣重整通過(guò)甲烷與水蒸氣在高溫催化劑作用下生成合成氣，再經(jīng)提純得到高純氫，成本較低、產(chǎn)量大，但依賴(lài)化石能源，碳排放較高；甲醇重整反應(yīng)條件溫和，適合中小型制氫裝置，純度可達(dá)99.999%，常用于區(qū)域化電子產(chǎn)業(yè)園的現(xiàn)場(chǎng)供氣。電解水制氫法分為堿性電解水和質(zhì)子交換膜電解水，產(chǎn)物純度高，不產(chǎn)生污染物，其中質(zhì)子交換膜電解水可直接制備99.999%以上高純氫，搭配光伏、風(fēng)電等可再生能源可實(shí)現(xiàn)“綠氫”生產(chǎn)，是未來(lái)電子級(jí)氫氣的主流發(fā)展方向。

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