電子級(jí)氫氣的提純技術(shù)是決定其純度的核心環(huán)節(jié)，無論采用哪種制備方法，初始生成的氫氣都含有一定雜質(zhì)，需通過提純處理才能達(dá)到電子工業(yè)的使用標(biāo)準(zhǔn)，常用的提純技術(shù)主要有四種。變壓吸附提純法是目前應(yīng)用最廣泛的技術(shù)，利用吸附劑對(duì)不同雜質(zhì)的吸附能力差異，通過壓力變化實(shí)現(xiàn)氫氣與雜質(zhì)的分離，可將氫氣純度提升至99.999%-99.9999%，具有成本低、能耗小、操作簡(jiǎn)便的優(yōu)勢(shì)，適合規(guī)模化生產(chǎn)；膜分離提純法利用特種分離膜的選擇性滲透作用，讓氫氣分子快速通過，而雜質(zhì)分子被截留，提純效率高，可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，適合高端電子級(jí)氫氣的深度提純；深冷分離法通過低溫液化，利用氫氣與雜質(zhì)的沸點(diǎn)差異實(shí)現(xiàn)分離，可將氫氣純度提升至9N級(jí)別，但設(shè)備投資大、能耗高，僅用于高端芯片制造等特殊場(chǎng)景；金屬氫化物提純法利用金屬或合金與氫氣的選擇性反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)氫氣的精準(zhǔn)提純，適合小型便攜式制氫設(shè)備或航天領(lǐng)域的電子器件生產(chǎn)。

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