半導體制造是電子級氫氣最核心、附加值的應用領域,氫氣貫穿了半導體從硅材料制備到器件封裝的全流程,每一個核心環(huán)節(jié)都離不開氫氣的支撐,其純度直接決定芯片的性能和良率。在晶圓制造中,氫氣既是還原氣也是載氣,在光刻膠剝離、金屬沉積等工序中,氫氣與氮氣形成混合保護氣氛,可有效隔絕氧氣與水汽,防止晶圓表面氧化;在化學氣相沉積工藝中,6N級別氫氣作為載氣,能精準輸送反應氣體并維持均勻的氣流場,保障薄膜生長的一致性。據行業(yè)數(shù)據,先進制程芯片生產中,每萬片晶圓需消耗約5000立方米電子級氫氣;在芯片封裝環(huán)節(jié),氫氣可作為保護氣,防止封裝過程中芯片引腳氧化,提升封裝精度和器件可靠性,助力芯片實現(xiàn)小型化、高性能化。
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