志昇SZ-QMO系列晶圓無塵真空氮氣烘烤箱專為半導(dǎo)體制造設(shè)計，融合多項創(chuàng)新技術(shù)確保工藝高效精準。設(shè)備采用真空環(huán)境控制，有效消除氧氣和雜質(zhì)，防止晶圓氧化與污染，提升產(chǎn)品良率。氮氣循環(huán)系統(tǒng)實現(xiàn)均勻溫度分布，結(jié)合智能溫控算法，確保烘烤過程穩(wěn)定可靠，適用于高精度晶圓處理。無塵設(shè)計通過高效過濾和密封結(jié)構(gòu)，顯著降低顆粒物影響，保障晶圓表面潔凈度。整體上，該烘烤箱以可靠性能和易維護特性，助力半導(dǎo)體生產(chǎn)線優(yōu)化，滿足先進制造需求。