CF4測試的核心指標(biāo)圍繞純度、濃度、泄漏、雜質(zhì)四大維度設(shè)定，不同應(yīng)用場景的指標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)差異較大，核心涵蓋五大類，確保檢測全面、精準(zhǔn)，貼合實際需求。一是純度指標(biāo)，這是CF4測試最核心的指標(biāo)，電子、半導(dǎo)體行業(yè)要求CF₄純度≥99.999%，高端芯片制造甚至要求≥99.9999%，普通工業(yè)場景純度要求≥99.9%；二是雜質(zhì)指標(biāo)，重點檢測氟化氫、氯化氫、二氧化碳、氮氣等雜質(zhì)含量，其中氟化氫需降至ppm級以下，避免腐蝕設(shè)備、影響產(chǎn)品質(zhì)量；三是濃度指標(biāo)，檢測CF₄在使用環(huán)境、尾氣中的濃度，既保障生產(chǎn)工藝穩(wěn)定，也控制環(huán)保排放；四是泄漏指標(biāo)，檢測儲存、輸送、使用環(huán)節(jié)的CF₄泄漏量，避免泄漏引發(fā)環(huán)保污染和安全隱患；五是穩(wěn)定性指標(biāo)，檢測CF₄在不同溫度、壓力條件下的化學(xué)穩(wěn)定性，確保其符合使用場景的工況要求。

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