CF4泄漏測試是保障安全與環(huán)保的關(guān)鍵，結(jié)合CF₄無色、無味、惰性、難以降解的特性，需采用高靈敏度的測試方法，實(shí)現(xiàn)快速、精準(zhǔn)定位泄漏點(diǎn)，避免泄漏隱患。常用測試方法主要有四種：第一種是紅外泄漏檢測法，利用紅外檢測儀捕捉CF₄泄漏時(shí)的紅外特征信號，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離、無接觸檢測，精準(zhǔn)定位泄漏點(diǎn)，適合儲罐、長距離管路的泄漏檢測；第二種是質(zhì)譜泄漏檢測法，靈敏度極高，可檢測到ppb級的CF₄泄漏，適合電子、半導(dǎo)體車間等密閉空間的泄漏檢測，防范局部積聚；第三種是壓力降檢測法，針對CF₄儲罐、鋼瓶等密閉容器，關(guān)閉閥門后加壓，監(jiān)測壓力變化，若壓力下降超過標(biāo)準(zhǔn)值，說明存在泄漏，適合靜態(tài)泄漏檢測；第四種是皂液檢測法，將專用皂液涂抹在儲罐、管路、接口等關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，若出現(xiàn)氣泡，說明存在泄漏，適合日常簡易排查，操作簡便、成本極低，但僅適用于可見部位的泄漏檢測。

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