半導(dǎo)體與電子制造業(yè)是工業(yè)氦的消費(fèi)領(lǐng)域，約占全球用量 30%。在芯片制造的光刻、刻蝕、沉積、退火、離子注入等全流程，工業(yè)氦用作冷卻氣、載氣、吹掃氣與保護(hù)氣。其超高熱導(dǎo)率可快速帶走晶圓制程熱量，將溫度波動(dòng)控制在 ±0.1℃內(nèi)，防止納米級(jí)電路熱變形。高純氦能營造無氧無濕的超凈環(huán)境，避免晶圓氧化與雜質(zhì)污染，提升良率。在 EUV 極紫外光刻環(huán)節(jié)，需液氦冷卻超導(dǎo)磁體至 - 269℃，是先進(jìn)制程核心必需品。光纖預(yù)制棒拉制時(shí)，工業(yè)氦可隔絕氧氣、減少氣泡，提升光傳導(dǎo)效率。電子行業(yè)普遍使用 5N-6N 級(jí)高純氦，直接影響芯片與光電子器件性能。

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