超純氧的制備以高純氧為原料，核心采用多工序深度提純工藝，常見方法包括精密低溫精餾法、高效分子篩吸附法、膜分離提純法和化學(xué)吸附精制法，其中精密低溫精餾法是工業(yè)規(guī)�；a(chǎn)超純氧的主流工藝。該工藝在高純氧提純的基礎(chǔ)上，增加3-4段精密精餾環(huán)節(jié)，通過精準(zhǔn)控制溫度、壓力和精餾速度，徹底分離高純氧中殘留的微量氮氣、氬氣等雜質(zhì)；高效分子篩吸附法則采用新型特種分子篩，對微量雜質(zhì)進行深度吸附，適合中小規(guī)模制備；膜分離提純法主要用于7N級及以上超高純氧的精制，確保雜質(zhì)含量降至。
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