電子級氮氣的儲存和輸送需嚴(yán)格遵循電子工業(yè)潔凈標(biāo)準(zhǔn)，防止污染和泄漏。儲存容器需采用無油污、無雜質(zhì)的高壓不銹鋼鋼瓶，鋼瓶需提前清洗、干燥，定期進(jìn)行耐壓檢測和潔凈度檢測；儲存庫房需保持潔凈、干燥、通風(fēng)，遠(yuǎn)離火源、熱源，避免陽光直射，與其他氣體分開存放。輸送管道需采用惰性材料制成，內(nèi)壁光滑無雜質(zhì)，定期清洗消毒，管道連接緊密，防止泄漏和空氣進(jìn)入，確保氮氣輸送過程中不被污染。

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