電子級氬氣的儲存和輸送需嚴格遵循電子工業(yè)潔凈標準，嚴防污染和泄漏。儲存容器采用無油污、無雜質(zhì)的高壓不銹鋼鋼瓶，鋼瓶需提前清洗、干燥，定期進行耐壓檢測和潔凈度檢測，確保無破損、無泄漏；儲存庫房需保持潔凈、干燥、通風，遠離火源、熱源和陽光直射，與氧氣、氫氣等易燃易爆氣體分開存放，張貼明顯的安全警示標識。輸送管道采用惰性材料制成，內(nèi)壁光滑無雜質(zhì)，定期清洗消毒，管道連接緊密，配備穩(wěn)壓裝置，確保氬氣輸送穩(wěn)定、潔凈。

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