超純氮的制備中，深度提純環(huán)節(jié)是核心，也是區(qū)別于高純氮制備的關(guān)鍵。其中，低溫吸附提純是核心工序之一，采用高性能低溫吸附劑，在極低溫度下，對(duì)高純氮中的微量氧氣、水分、二氧化碳等雜質(zhì)進(jìn)行選擇性吸附，吸附效率可達(dá)99.99%以上，能將雜質(zhì)含量降至ppb級(jí)。催化脫氧則是通過(guò)專用催化劑，將高純氮中殘留的微量氧氣轉(zhuǎn)化為水，再通過(guò)分子篩脫水，進(jìn)一步降低氧氣和水分雜質(zhì)含量。此外，還需通過(guò)精密過(guò)濾去除塵埃、顆粒等固體雜質(zhì)，確保超純氮的潔凈度。

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