超純氮在半導(dǎo)體高端芯片領(lǐng)域的應(yīng)用不可或缺，是7nm及以下先進(jìn)制程芯片生產(chǎn)的核心氣體。先進(jìn)制程芯片的硅片尺寸更小、精度更高，對(duì)氣體純度的要求達(dá)到極致，任何微量雜質(zhì)都可能導(dǎo)致芯片短路、性能失效。在硅片刻蝕、薄膜沉積、離子注入等核心工序中，超純氮作為惰性保護(hù)氣和吹掃氣，可徹底隔絕空氣，防止硅片被氧化、污染，同時(shí)吹掃掉工序中產(chǎn)生的殘留雜質(zhì)，確保芯片的合格率和穩(wěn)定性，目前全球先進(jìn)芯片制程均離不開超純氮。

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