產品特性（Feature）

μm級運動精度，重復定位穩(wěn)定

微型化結構設計，適用于高密度精密機構

支持直線導向及旋轉支撐復合應用

高剛性、低摩擦、低運行阻力

適配潔凈室及高精度檢測環(huán)境

主要特征（Technical Highlights）

高精度滾珠循環(huán)系統(tǒng)
滾道精密加工，運動平穩(wěn)，適合高頻往復與微位移控制

材質可選 SUJ2 / SUS440C
SUJ2：高硬度、高耐磨，適合高負載精密運動
SUS440C：耐腐蝕、適合潔凈與半導體工藝環(huán)境

微型尺寸，安裝靈活
適用于空間受限的精密模組及檢測機構

低振動、低噪音運行
有效提升設備檢測穩(wěn)定性與測量一致性

應用領域
半導體檢測 / 分選 / 封裝設備
3C 產品檢測機構
位移傳感器、精密測量及微型自動化模組