超純氮的未來發(fā)展趨勢
隨著半導(dǎo)體制程向3nm以下演進(jìn),超純氮的純度需求將提升至7N級(99.99999%),雜質(zhì)控制進(jìn)入ppt級(萬億分之一)。同時,小型化、模塊化制氮設(shè)備(如集裝箱式PSA)將滿足偏遠(yuǎn)地區(qū)(如衛(wèi)星發(fā)射場)的即時需求。此外,AI算法將被引入生產(chǎn)過程,通過實(shí)時優(yōu)化參數(shù)(如溫度、壓力)進(jìn)一步降低能耗,推動超純氮從“高精尖”向“高效能”升級。
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