• 感光波段:i-line、g-line •化學放大膠,附著力好,電鍍穩(wěn)定 •非常高的靈敏度,易去膠 •undercut角度大,分辨率高,覆蓋能力強 • 用于耐刻蝕工藝、電鍍、光柵、 MEMS、Lift-off等