GB/T 8979-2025 明確超純氮為采用空氣分離或深度凈化工藝制取的氣態(tài)、液態(tài)產(chǎn)品，氮純度≥99.999%，總雜質(zhì)含量≤10×10⁻⁶，其中氧、水、氫等關(guān)鍵雜質(zhì)含量需控制在 ppb 級。其用途覆蓋高端制造與科研領(lǐng)域，可作為半導(dǎo)體芯片制造的惰性保護(hù)氣，防止晶圓氧化與污染；作為精密儀器的載氣與校準(zhǔn)氣，保障檢測數(shù)據(jù)精準(zhǔn)；也用于航空航天材料的熱處理，提升材料性能穩(wěn)定性。檢測的重要性不言而喻，需通過氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用、露點(diǎn)儀等高精度設(shè)備，嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)方法測定雜質(zhì)含量，既確保產(chǎn)品符合高端制程的嚴(yán)苛要求，避免因微量雜質(zhì)導(dǎo)致芯片短路、儀器失準(zhǔn)等致命缺陷，又能通過泄漏檢測防范密閉空間缺氧風(fēng)險，為超純氮的生產(chǎn)、運(yùn)輸與應(yīng)用筑牢合規(guī)安全防線。

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