GB/T 8979-2025 明確超純氮是滿足高端精密制程需求的功能性氣體，其定義聚焦于 ppb 級(jí)的雜質(zhì)控制，確保氣體在應(yīng)用過程中不會(huì)引入任何污染物。超純氮在精準(zhǔn)制程中的用途包括半導(dǎo)體制造的光刻膠剝離保護(hù)、MEMS 傳感器的封裝氣氛控制、精密光學(xué)元件的鍍膜保護(hù)等，需嚴(yán)格控制純度波動(dòng)以保障制程的一致性與穩(wěn)定性。檢測(cè)的重要性在于保障制程精準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了差異化的檢測(cè)方法，針對(duì)不同雜質(zhì)采用專屬檢測(cè)設(shè)備，如水分檢測(cè)用冷鏡式露點(diǎn)儀，氧含量檢測(cè)用微量氧分析儀；通過定期檢測(cè)可實(shí)時(shí)監(jiān)控氣體質(zhì)量變化，及時(shí)調(diào)整工藝參數(shù)，避免因微量雜質(zhì)導(dǎo)致產(chǎn)品精度下降或制程失敗，助力企業(yè)提升高端產(chǎn)品的生產(chǎn)良率。

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