產(chǎn)品特性（Feature）

μm級(jí)運(yùn)動(dòng)精度，重復(fù)定位穩(wěn)定

微型化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，適用于高密度精密機(jī)構(gòu)

支持直線導(dǎo)向及旋轉(zhuǎn)支撐復(fù)合應(yīng)用

高剛性、低摩擦、低運(yùn)行阻力

適配潔凈室及高精度檢測(cè)環(huán)境

主要特征（Technical Highlights）

高精度滾珠循環(huán)系統(tǒng)
滾道精密加工，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，適合高頻往復(fù)與微位移控制

材質(zhì)可選 SUJ2 / SUS440C
SUJ2：高硬度、高耐磨，適合高負(fù)載精密運(yùn)動(dòng)
SUS440C：耐腐蝕、適合潔凈與半導(dǎo)體工藝環(huán)境

微型尺寸，安裝靈活
適用于空間受限的精密模組及檢測(cè)機(jī)構(gòu)

低振動(dòng)、低噪音運(yùn)行
有效提升設(shè)備檢測(cè)穩(wěn)定性與測(cè)量一致性

應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體檢測(cè) / 分選 / 封裝設(shè)備
3C 產(chǎn)品檢測(cè)機(jī)構(gòu)
位移傳感器、精密測(cè)量及微型自動(dòng)化模組