超純氮的關(guān)鍵應(yīng)用場(chǎng)景——半導(dǎo)體制造
在半導(dǎo)體行業(yè)，超純氮是“保護(hù)氣”與“載氣”的核心。芯片制造中，晶圓氧化、化學(xué)氣相沉積（CVD）、離子注入等工序需在惰性環(huán)境中進(jìn)行，超純氮可防止金屬表面氧化、減少缺陷密度。例如，在28nm以下制程中，若氮?dú)夂趿浚?ppm，可能導(dǎo)致柵極氧化層漏電，良率下降30%以上。因此，半導(dǎo)體廠對(duì)超純氮的在線監(jiān)測(cè)精度要求達(dá)ppb級(jí)（十億分之一）。
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