什么是RGSZ20柵尺？
RGSZ20是一款由薄型柔性鋼帶制成的帶狀柵尺，柵距為20 m，鋼帶經(jīng)過(guò)鍍金具有更高的反射率和耐腐蝕性，并具有用戶(hù)可選的IN-TRAC參考零位。可以使用背面自帶的UHV兼容不干膠將其安裝到金屬、陶瓷和合成材料等大多數(shù)工程材料上。RGSZ20可用柵尺端壓塊固定到基體上，并與基體的熱膨脹系數(shù)保持一致。柵尺成卷供貨，用戶(hù)可根據(jù)需要任意裁剪，可滿足長(zhǎng)達(dá)50 m的軸長(zhǎng)需要。
什么是TONiC？
TONiC是雷尼紹推出的超小型非接觸式光柵系統(tǒng)，速度可達(dá)10 m/s，與Ti接口配套使用時(shí)，在線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率達(dá)1 nm。由于安裝公差寬松，并且只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn)，因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡(jiǎn)單。TONiC的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理功能可提高信號(hào)穩(wěn)定性，而且電子細(xì)分誤差***，通常小于±30 nm，從而有助于實(shí)現(xiàn)***的運(yùn)動(dòng)控制性能。TONiC UHV將增量式真空光柵技術(shù)引入低至10-10 Torr的超高真空應(yīng)用中，這類(lèi)應(yīng)用要求在緊湊的外形中保持高性能。
帶碼道選項(xiàng)的不銹鋼鋼帶
細(xì)窄型
優(yōu)點(diǎn)
柵尺長(zhǎng)度按需裁剪，最長(zhǎng)可達(dá)50 m 超小型光柵具有動(dòng)態(tài)信號(hào)調(diào)節(jié)功能，可提高運(yùn)動(dòng)控制性能 抗污能力強(qiáng) 診斷組件用以協(xié)助完成復(fù)雜安裝并進(jìn)行系統(tǒng)優(yōu)化
特性
讀數(shù)頭尺寸：35 x 13.5 x 10 mm 分辨率達(dá)1 nm 速度達(dá)10 m/s 模擬或數(shù)字輸出 ***電子細(xì)分誤差 (SDE)：通常<±30 nm 可提供真空兼容型號(hào) 客戶(hù)可選的IN-TRAC光學(xué)參考零位
技術(shù)規(guī)格
工作原理
TONiC采用雷尼紹第三代獨(dú)特光學(xué)濾波系統(tǒng)，可對(duì)多個(gè)光柵周期進(jìn)行平均，有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去，以在探測(cè)器上留下一個(gè)***的正弦波形。這里使用的是一個(gè)多條紋結(jié)構(gòu)，它非常細(xì)，能夠產(chǎn)生4個(gè)對(duì)稱(chēng)相位信號(hào)形式的光電流。這些結(jié)合在一起可免去DC器件，并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦輸出，同時(shí)保持500 kHz以上的帶寬。
包括自動(dòng)增益控制、自動(dòng)平衡控制和自動(dòng)偏置控制在內(nèi)的完全集成***動(dòng)態(tài)信號(hào)調(diào)節(jié)組合在一起，確保實(shí)現(xiàn)***電子細(xì)分誤差 (SDE)（通常 <±30 nm）。
光學(xué)濾波系統(tǒng)的這一改進(jìn)加上精選的優(yōu)質(zhì)電子器件，大帶寬增量信號(hào)可達(dá)到10 m/s的速度，同時(shí)也是同類(lèi)光柵中位置抖動(dòng)（噪聲）小的。在TONiC Ti接口內(nèi)通過(guò)CORDIC算法細(xì)分，同時(shí)利用其他抗噪電子器件進(jìn)一步增強(qiáng)高分辨率型TONiC的抗噪功能，從而實(shí)現(xiàn)抖動(dòng)水平僅有0.5 nm RMS。
將IN-TRAC參考零位完全刻劃在增量式柵尺上，并通過(guò)讀數(shù)頭內(nèi)部的分離光電檢測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。如圖所示，參考零位分離式探測(cè)器直接嵌入到增量碼道線性光電二極管陣列的中心，盡量避免出現(xiàn)扭擺失相。產(chǎn)生參考零位輸出信號(hào)，在所有速度下雙向重復(fù)精度都能夠達(dá)到單位分辨率。這種獨(dú)特的設(shè)計(jì)也受益于自動(dòng)校準(zhǔn)程序，該程序?qū)⒖剂阄贿M(jìn)行電子定相，并優(yōu)化動(dòng)態(tài)信號(hào)調(diào)節(jié)。
