電子級氮氣的生產(chǎn)工藝比工業(yè)級氮氣更為復(fù)雜，核心是在空氣分離的基礎(chǔ)上，增加多道深度凈化工序。主流生產(chǎn)流程為：先通過空氣壓縮、冷卻液化，利用氮氣與氧氣的沸點差異，采用精餾工藝分離出粗制氮氣；再經(jīng)過分子篩干燥、低溫吸附、精密過濾等多道凈化步驟，去除其中的氧、水、二氧化碳、塵埃、金屬離子等雜質(zhì)；最后通過專業(yè)檢測，確保純度和雜質(zhì)指標符合電子工業(yè)標準，方可投入生產(chǎn)使用，生產(chǎn)過程需全程密閉，防止二次污染。

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