MYH-COPST 是 MYHMICRO（銘衍海）出品的納米氧化鈰水性拋光液，專(zhuān)為光學(xué)玻璃、半導(dǎo)體、顯示面板、汽車(chē)玻璃等硬脆材料超精密平坦化設(shè)計(jì)，核心優(yōu)勢(shì)為高去除速率、高選擇比、低損傷、易清洗、穩(wěn)定性強(qiáng)。
一、產(chǎn)品參數(shù)
基礎(chǔ)理化參數(shù)
· 產(chǎn)品型號(hào)：MYH-COPST
· 品牌：MYHMICRO
· CAS 號(hào)：1306-38-3（CeO₂）
· 外觀：粉紅色液體
包裝規(guī)格：1KG/桶，
· 產(chǎn)地：江蘇・常州
· 安全性：非危險(xiǎn)品、水性環(huán)保、無(wú)腐蝕
· 去除速率（MRR）：對(duì) SiO₂/ 石英玻璃＞500 nm/min（標(biāo)準(zhǔn)工藝）
· 表面粗糙度（Ra）：≤0.1–0.5 nm（精拋后，AFM 測(cè)量）
· 表面缺陷：零可見(jiàn)劃痕、低亞表面損傷
· 清洗性：水性易沖洗、無(wú)殘留
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 高效化學(xué)機(jī)械協(xié)同拋光
采用 CMP 化學(xué)機(jī)械協(xié)同原理，CeO₂與 SiO₂表面形成 Ce-O-Si 橋鍵軟化表層，配合納米顆粒精準(zhǔn)微磨削，實(shí)現(xiàn)高切削力 + 低損傷，拋光效率遠(yuǎn)優(yōu)于純機(jī)械研磨。
2. 高選擇性與高平坦度
對(duì)硅基材料（SiO₂、石英、玻璃）去除極快，對(duì) Si、Si₃N₄、金屬去除速率極低，選擇比＞200:1，適配半導(dǎo)體 STI、ILD 等高選擇比場(chǎng)景；拋光后表面無(wú)橘皮、無(wú)麻點(diǎn)、平面度極佳。
3. 優(yōu)質(zhì)顆粒與穩(wěn)定分散
選用高純度球形納米 CeO₂，粒徑分布窄、無(wú)大顆粒雜質(zhì)，減少劃痕風(fēng)險(xiǎn)；專(zhuān)用分散劑確保長(zhǎng)期均勻懸浮、不沉降、不團(tuán)聚，無(wú)需頻繁攪拌，工藝穩(wěn)定性高。
銘衍海（常州）微電子可根據(jù)客戶需求，提供定制化服務(wù)
源頭工廠可定制粒徑、固含量、pH、粘度，精準(zhǔn)匹配不同場(chǎng)景；切削壽命長(zhǎng)、耗材成本低，實(shí)現(xiàn)進(jìn)口拋光液國(guó)產(chǎn)替代，性價(jià)比優(yōu)勢(shì)顯著。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
1. 光學(xué)玻璃與晶體
· 光學(xué)元件：鏡頭、棱鏡、濾光片、K9 玻璃、硼硅玻璃、熔融石英
· 晶體材料：YAG、鈦藍(lán)寶石、石英晶體、藍(lán)寶石（襯底 / 窗口）
· 光纖 / 連接器：端面拋光、低損耗
2. 半導(dǎo)體與微電子
· 晶圓平坦化：STI 淺槽隔離、ILD 層間介質(zhì)、3D NAND
· 光掩模 / 光刻板：石英掩模無(wú)損傷精拋
· 化合物半導(dǎo)體：SiC、GaN、藍(lán)寶石襯底
3. 顯示與觸控面板
· LCD/OLED 玻璃基板、TFT 面板
· 手機(jī) / 平板蓋板玻璃、觸控屏：去劃痕、高光澤
4. 汽車(chē)與工業(yè)玻璃
· 汽車(chē)擋風(fēng)玻璃：去劃痕、去油膜、修復(fù)
· 建筑 / 幕墻玻璃、儀表玻璃、光學(xué)視窗
5. 精密陶瓷與硬脆材料
· 結(jié)構(gòu)陶瓷、透明陶瓷、精密軸承、切割刀片
四、使用建議
1. 稀釋：原液使用或去離子水 1:1–1:3 稀釋?zhuān)瑪嚢杈鶆颉?/p>
2. 拋光墊：聚氨酯墊或麂皮墊（精拋）。
3. 工藝參數(shù)：壓力 0.1–0.3 MPa，轉(zhuǎn)速 800–1500 rpm。
4. 后處理：拋后立即清水沖洗，必要時(shí)搭配中性清洗劑。
5. 儲(chǔ)存：密封、避光、常溫（5–35℃）儲(chǔ)存，避免高溫與陽(yáng)光直射。
五、注意事項(xiàng)
· 操作時(shí)佩戴手套、防護(hù)眼鏡，避免直接接觸皮膚與眼睛；不慎接觸立即用大量清水沖洗 15 分鐘以上，必要時(shí)就醫(yī)。
· 禁止與強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、易燃易爆物品混合存放，防止化學(xué)反應(yīng)。
· 開(kāi)封后少量分層，攪拌均勻即可正常使用，不影響性能。
· 保質(zhì)期 6 個(gè)月（密封常溫儲(chǔ)存），過(guò)期按環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)妥善處理。
· 車(chē)間保持良好通風(fēng)，使用時(shí)勿進(jìn)食、吸煙，避免兒童接觸。
· 廢棄拋光液勿直接排放，需符合當(dāng)?shù)丨h(huán)保標(biāo)準(zhǔn)處理。
